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Bomba de vácuo seco Roots multiestágio GRM1201 1200 m³/h sem óleo para semicondutores PECVD MOCVD

Name: Bomba de vácuo seco Roots multiestágio GRM1201 1200 m³/h sem óleo para semicondutores PECVD MOCVD
Brand: Ningbo Baosi Energy Equipment Co., Ltd.
SKU: GRM1201
Price: 10,500.00 USD
Availability: InStock

Detalhes do Produto:

Lugar de origem:	China
Marca:	Baosi
Certificação:	CE
Número do modelo:	GRM1201

Informações pormenorizadas

Lugar de origem:

China

Marca:

Baosi

Certificação:

Número do modelo:

GRM1201

Velocidade de bombeamento:

1200 m3/h

Pressão Final:

≤0,15Pa

Potência do motor:

1,9+1,9kW

Tensão:

380V/trifásico

Entrada:

ISO160

Tomada:

KF25

Barulho:

≤63dB(A)

Peso:

260 kg

Dimensões:

865×344×751 milímetros

Água de resfriamento:

0,1-0,6 MPa, ≥4 L/min

Purga N2:

0,2-0,6 MPa, 12-50 L/min

Destacar:

High Light

Destacar:

Bomba de vácuo de raízes de alta velocidade

bomba de vácuo seca de 1200m3h

vácuo de processo PECVD MOCVD

Informações de negociação

Quantidade de ordem mínima:

1 conjunto

Preço:

USD 8500-12500/Set

Detalhes da embalagem:

Embalagem de caixa de madeira padrão de exportação

Tempo de entrega:

15-30 dias úteis

Termos de pagamento:

T/T,L/C

Habilidade da fonte:

50 conjuntos/mês

Descrição do produto

GRM1201 Bomba de vácuo seco de raízes de vários estágios 1200 m3/h Bomba de vácuo de alta velocidade sem óleo para semicondutores PECVD MOCVD

GRM1201 Bomba de vácuo seco de raízes de vários estágios ¥ 1200 m3/h Solução de alta velocidade

O GRM1201 é uma bomba de vácuo seco de raízes de alta velocidade, de vários estágios, que fornece 1200 m3/h de velocidade de bombeamento com uma pressão final de ≤ 0,15 Pa.Compartilhando a mesma plataforma compacta que o GRM601 (865 * 344 * 751 mm), 260 kg) mas com entrada ISO160 para maior rendimento, se destaca em PECVD, MOCVD e aplicações de processos limpos e médios de semicondutores exigentes.

Características fundamentais

Raízes de alta velocidade de vários estágios:1200 m3/h com baixo consumo de energia
Eficiência do motor duplo:1.9+1,9 kW motores síncronos de ímã permanente
Excelente pressão final:≤ 0,15 Pa satisfaz exigentes requisitos de processo
Ultra-silencioso:≤ 63 dB (A) nível de ruído compatível com a sala limpa
Entrada ISO160 grande:Gerencia o alto débito de gás para aplicações em escala de produção
Vazio limpo sem óleo:Nenhuma contaminação por óleo para processos sensíveis de semicondutores
Manuseio de poeira superior:Projeto avançado do rotor para ambientes ricos em partículas
Plataforma compacta:A mesma pegada que o GRM601 ¢ integração fácil de linhas
Sistema de vedação tripla:Selo labial + labirinto + depuração de nitrogênio garantia de vácuo sem óleo
Conectividade inteligente:E/S e RS485 (Modbus) para integração remota de fábrica

Especificações técnicas

Modelo	GRM1201
Velocidade de bombeamento	1200 m3/h
Pressão final (sem depuração)	≤ 0,15 Pa
Potência do motor	1.9 + 1,9 kW
Voltagem	380 V (3-Fase)
Conexão de entrada	ISO 160
Conexão de tomada	KF25
Nível de ruído	≤ 63 dB (A)
Peso	260 kg
Dimensões (LWH)	865 * 344 * 751 mm
Pressão da água de arrefecimento	00,6 MPa
Fluxo de água de arrefecimento	≥ 4 L/min
N2 Pressão de depuração	00,6 MPa
Fluxo de depuração de N2	12 ̊50 L/min
Temperatura de funcionamento	5°C a 40°C; ≤ 90% RH

Aplicações

Semicondutores: PECVD, MOCVD, SACVD, RTP, HDP-CVD, ALD, Metal Etch, Silicon Etch
Energia fotovoltaica: Linhas de produção de células solares de elevado rendimento
Bateria de lítio: secagem de células em escala de produção e processamento de eletrólitos
Display de painel plano: fabricação de OLED e LCD

Etiquetas:

Bomba de vácuo seco Roots multiestágio GRM1201 1200 m³/h sem óleo para semicondutores PECVD MOCVD

High Light

Destacar:

Bomba de vácuo de raízes de alta velocidade

bomba de vácuo seca de 1200m3h

vácuo de processo PECVD MOCVD

bomba de vácuo turbo,

Bomba de vácuo elevado,

Bomba de vácuo de raízes de alta velocidade

Bomba de vácuo seca refrigerada a água 1200m³/h, ≤0,15Pa, 1,9kw, GRM1201

Bomba de vácuo seca refrigerada a água 200 m3/h,≤ 0,5 Pa,1.9kw, GRM201

Bomba de vácuo seca refrigerada a água 600m3/h,≤ 0,15Pa,1.9kw, GRM601