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Bomba de vácuo seca Roots multiestágio GRM602 600 m³/h Bomba de vácuo de média capacidade sem óleo para processo de semicondutores
Bomba de vácuo seca Roots multiestágio GRM602 600 m³/h Bomba de vácuo de média capacidade sem óleo para processo de semicondutores
  • Bomba de vácuo seca Roots multiestágio GRM602 600 m³/h Bomba de vácuo de média capacidade sem óleo para processo de semicondutores

Bomba de vácuo seca Roots multiestágio GRM602 600 m³/h Bomba de vácuo de média capacidade sem óleo para processo de semicondutores

Detalhes do Produto:
Lugar de origem: China
Marca: Baosi
Certificação: CE
Número do modelo: GRM601
Informações pormenorizadas
Lugar de origem:
China
Marca:
Baosi
Certificação:
CE
Número do modelo:
GRM601
Velocidade de bombeamento:
³ /h de 600 m
Pressão Final:
≤0,15Pa
Potência do motor:
1,9+1,9kW
Tensão:
380V/trifásico
Entrada:
ISO100
Tomada:
KF25
Barulho:
≤63dB(A)
Peso:
260 kg
Dimensões:
865×344×751 milímetros
Água de resfriamento:
0,1-0,6 MPa, ≥4 L/min
Purga N2:
0,2-0,6 MPa, 12-50 L/min
Destacar:

High Light

Destacar:

GRM602 bomba de vácuo seca sem óleo

,

bomba de vácuo de raízes de vários estágios

,

bomba de vácuo de processo semicondutor

Informações de negociação
Quantidade de ordem mínima:
1 conjunto
Preço:
negotiable
Detalhes da embalagem:
Embalagem de caixa de madeira padrão de exportação
Tempo de entrega:
15-30 dias úteis
Termos de pagamento:
T/T
Habilidade da fonte:
50 conjuntos/mês
Descrição do produto

Bomba de vácuo seco Roots multiestágio GRM602 — solução de média capacidade de 600 m³/h

A GRM601 é uma bomba de vácuo seca de raízes multiestágio de média capacidade que fornece velocidade de bombeamento de 600 m³/h com uma pressão final impressionante de ≤0,15 Pa. Seus motores síncronos de ímã permanente duplo de 1,9+1,9 kW fornecem vácuo confiável e isento de óleo para aplicações de semicondutores, fotovoltaicos e baterias de lítio.

Principais recursos

  • Projeto de raízes em vários estágios:Alta velocidade de bombeamento com baixo consumo de energia
  • Configuração de motor duplo:1,9+1,9 kW para operação equilibrada e eficiente
  • Pressão final ultrabaixa:≤0,15 Pa para requisitos de processo exigentes
  • Ultra-silencioso:≤63 dB(A) — ideal para ambientes de sala limpa
  • Mecanismo isento de óleo:Contaminação zero de óleo para processos sensíveis
  • Manuseio Superior de Partículas:Estrutura avançada do rotor para processos empoeirados
  • Integração compacta:865*344*751mm, 260kg
  • Insensível a poeira e vapor:Confiável com subprodutos de processo e umidade
  • Selagem Avançada:Vedação labial + labirinto + proteção contra purga de nitrogênio
  • Inteligência Remota:E/S e RS485 (Modbus) para automação de fábrica

Especificações Técnicas

Modelo GRM602
Velocidade de bombeamento 600 m³/h
Pressão final (sem purga) ≤0,15 Pa
Potência do motor 1,9 + 1,9 kW
Tensão 380V (trifásico)
Conexão de entrada ISO100
Conexão de saída KF25
Nível de ruído ≤63dB(A)
Peso 260kg
Dimensões (C*L*A) 865*344*751mm
Pressão da água de resfriamento 0,1–0,6 MPa
Fluxo de água de resfriamento ≥4 L/min
Pressão de purga N₂ 0,2–0,6 MPa
Fluxo de purga de N₂ 12–50 L/min
Temperatura operacional 5–40°C; ≤90% UR

Aplicativos

  • Semicondutores: PECVD, MOCVD, SACVD, RTP, HDP-CVD, ALD, Metal Etch, Silicon Etch
  • Fotovoltaico: crescimento de cristais, fabricação de células solares
  • Bateria de lítio: Secagem celular, enchimento de eletrólito, desgaseificação
  • Display de tela plana: processos de fabricação de LED e LCD

Etiquetas:

bomba de vácuo turbo,

Bomba de vácuo elevado,

GRM602 bomba de vácuo seca sem óleo

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