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GRH1202 Bomba de vácuo de garra seca 1200 m3/h Bomba de vácuo industrial sem óleo para processo CVD de semicondutores
GRH1202 Bomba de vácuo de garra seca 1200 m3/h Bomba de vácuo industrial sem óleo para processo CVD de semicondutores
  • GRH1202 Bomba de vácuo de garra seca 1200 m3/h Bomba de vácuo industrial sem óleo para processo CVD de semicondutores

GRH1202 Bomba de vácuo de garra seca 1200 m3/h Bomba de vácuo industrial sem óleo para processo CVD de semicondutores

Detalhes do Produto:
Lugar de origem: China
Marca: Baosi
Certificação: ISO9001,ISO14001,ISO45001
Número do modelo: GRH1202
Informações pormenorizadas
Lugar de origem:
China
Marca:
Baosi
Certificação:
ISO9001,ISO14001,ISO45001
Número do modelo:
GRH1202
Velocidade de bombeamento:
1200 m3/h
Pressão Final:
≤0,5 Pa
Potência do motor:
7,5+1,9 kW
Tensão:
380V/trifásico
Entrada:
ISO100
Tomada:
KF40
Barulho:
≤ 70 dB (A)
Peso:
220kg
Dimensões:
821×420×791 milímetros
Água de resfriamento:
0,1-0,6 MPa, ≥4,7 L/min
Purga N2:
0,2-0,6 MPa, 4-96 L/min
Destacar:

High Light

Destacar:

bomba de vácuo de garra seca 1200 m3/h

,

Bomba de vácuo industrial sem óleo

,

bomba de vácuo CVD semicondutora

Informações de negociação
Quantidade de ordem mínima:
1 conjunto
Preço:
negotiable
Detalhes da embalagem:
Embalagem de caixa de madeira padrão de exportação
Tempo de entrega:
30-45 dias úteis
Termos de pagamento:
T/T
Habilidade da fonte:
50 conjuntos/mês
Descrição do produto

Bomba de vácuo de garra seca GRH1202 — solução industrial isenta de óleo de 1.200 m³/h

A GRH1202 é uma bomba de vácuo de garra seca de alto desempenho da série GRH, projetada para processos exigentes de fabricação de semicondutores, fotovoltaicos e baterias de lítio. Com uma velocidade de bombeamento de 1.200 m³/h e pressão final de ≤0,5 Pa, ele fornece vácuo confiável e isento de óleo, sem risco de contaminação.

Principais recursos

  • Mecanismo de garra sem óleo:A câmara da bomba não contém óleo ou meio de trabalho, garantindo um vácuo limpo e adequado para processos sensíveis
  • Motor síncrono de ímã permanente:Oferece menor consumo de energia em comparação com motores convencionais
  • Projeto avançado de rotor:Capacidade aprimorada de manuseio de partículas de poeira para ambientes de processo severos
  • Tolerante a poeira e vapor:Insensível à poeira e ao vapor de água nos gases bombeados
  • Pegada compacta:Design que economiza espaço com alta integração do sistema (821 * 420 * 791 mm)
  • Proteção abrangente:Funções de proteção completa com forte capacidade autoadaptativa
  • Baixa vibração e ruído:≤70 dB(A) durante operação na pressão máxima
  • Selagem Avançada:O sistema de vedação labial e de labirinto combinado com purga de nitrogênio evita a contaminação do óleo
  • Controle remoto:Interface I/O e RS485 (protocolo Modbus) para monitoramento e controle remoto

Especificações Técnicas

ModeloGRH1202
Velocidade de bombeamento1200 m³/h
Pressão Final≤0,5Pa
Potência do motor7,5 + 1,9 kW
Tensão380V (trifásico)
Conexão de entradaISO100
Conexão de saídaKF40
Nível de ruído≤70dB(A)
Peso220kg
Dimensões (C*L*A)821*420*791mm
Pressão da água de resfriamento0,1–0,6 MPa
Fluxo de água de resfriamento≥4,7 L/min
Pressão de purga N₂0,2–0,6 MPa
Fluxo de purga de N₂4–96 L/min
Temperatura operacional5–40°C; ≤80% UR

Aplicativos

  • Semicondutores: Etch, Implantação Iônica, CVD, ALD, PECVD, MOCVD, SACVD, RTP, HDP-CVD
  • Fotovoltaico: Fornos de crescimento de cristais, fabricação de células solares
  • Bateria de lítio: secagem a vácuo de células, enchimento de eletrólito, desgaseificação

Etiquetas:

bomba de vácuo turbo,

Bomba de vácuo elevado,

bomba de vácuo de garra seca 1200 m3/h

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