GRH6002 Bomba de vácuo de garra seca 6000 m3/h Bomba de vácuo sem óleo de capacidade ultra-alta para processos de semicondutores

GRH6002 Bomba de vácuo de garras secas Solução de ultra-alta capacidade de 6000 m3/h

O GRH6001 é o modelo emblemático da série GRH, oferecendo uma velocidade de bombeamento impressionante de 6000 m3/h com pressão final ≤0,5 Pa. Com uma entrada ISO250, configuração de motor duplo de 11 + 7,5 kW,e construção industrial robusta de 846 kg, é projetado para as instalações de fabricação de semicondutores, fotovoltaicos e baterias de lítio de grande escala mais exigentes.

Características fundamentais

• Capacidade ultra-alta:Velocidade de bombeamento de 6000 m3/h
• Tecnologia de garras sem óleo:Nenhum risco de contaminação por óleo em processos sensíveis de semicondutores
• Sistema de motor duplo:Motores síncronos de ímã permanente de 11+7,5 kW
• ISO250 Large Inlet:Gerencia o fluxo de gás de grande volume para linhas de produção em larga escala
• Manuseio de poeira superior:Projeto avançado do rotor de garra para ambientes adversos
• Construção industrial:Construção robusta de 846 kg, com 1076*516*988 mm
• Baixo ruído:≤ 70 dB ((A) apesar da elevada capacidade de bombeamento
• Segregação avançada:Proteção de três camadas: vedação dos lábios + labirinto + depuração de nitrogénio
• Inteligência remota:I/O + RS485 (Modbus) para integração completa na fábrica

Especificações técnicas

Aplicações

• Semicondutores em grande escala: gravação em grande volume, implantação de íons, processos CVD
• Megafábricas fotovoltaicas: crescimento de cristais e fabrico de células em escala
• Gigafábricas de baterias de lítio: secagem de células, enchimento de eletrólitos, desgaseamento
• Fabricação de monitores de painel plano: linhas de produção de LCD, LED, OLED