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Bomba de vácuo seca Roots multiestágio GRM201 200 m³/h Bomba de vácuo compacta sem óleo para processo de limpeza de semicondutores

Bomba de vácuo seca Roots multiestágio GRM201 200 m³/h Bomba de vácuo compacta sem óleo para processo de limpeza de semicondutores

Detalhes do Produto:
Lugar de origem: China
Marca: Baosi
Certificação: ISO9001,ISO14001,ISO45001
Número do modelo: GRM201
Informações pormenorizadas
Lugar de origem:
China
Marca:
Baosi
Certificação:
ISO9001,ISO14001,ISO45001
Número do modelo:
GRM201
Velocidade de bombeamento:
200 m³/h
Pressão Final:
≤0,5 Pa
Potência do motor:
1,9 QUILOWATTS
Tensão:
380V/trifásico
Entrada:
ISO63
Tomada:
KF25
Barulho:
≤63dB(A)
Peso:
150kg
Dimensões:
741×344×466 milímetros
Água de resfriamento:
0,1-0,6 MPa, ≥3 L/min
Purga N2:
0,2-0,6 MPa, 12-50 L/min
Destacar:

High Light

Destacar:

Bomba de vácuo seca multiestágio grm201

,

bomba de vácuo compacta sem óleo

,

bomba de vácuo de processo limpo de semicondutores

Informações de negociação
Quantidade de ordem mínima:
1 conjunto
Preço:
negotiable
Detalhes da embalagem:
Embalagem de caixa de madeira padrão de exportação
Tempo de entrega:
15-25 dias úteis
Termos de pagamento:
T/T
Habilidade da fonte:
60 conjuntos/mês
Descrição do produto

Bomba de vácuo seco Roots multiestágio GRM201 — solução compacta isenta de óleo de 200 m³/h

A GRM201 é uma bomba de vácuo seca de raízes multiestágio compacta que fornece velocidade de bombeamento de 200 m³/h com operação ultrassilenciosa de ≤63 dB(A). Seu design de raízes de vários estágios isento de óleo o torna ideal para processos de semicondutores limpos e médios, fabricação fotovoltaica e linhas de produção de baterias de lítio que exigem vácuo livre de contaminação com pegada mínima.

Principais recursos

  • Projeto de raízes em vários estágios:Baixo consumo de energia com alta eficiência de bombeamento
  • Operação ultrassilenciosa:≤63 dB(A) — o mais silencioso da sua classe
  • Mecanismo isento de óleo:A câmara da bomba não contém absolutamente nenhum óleo para compatibilidade com processos limpos
  • Motor síncrono de ímã permanente:1,9 kW com eficiência energética superior
  • Manuseio de poeira superior:Estrutura avançada do rotor para melhor exaustão de partículas
  • Pegada compacta:Apenas 741 * 344 * 466 mm, 150 kg – fácil de integrar
  • Tolerante a poeira e vapor:Insensível a subprodutos do processo e umidade
  • Proteção Total:Recursos de segurança abrangentes com capacidade adaptativa
  • Controle inteligente:E/S e RS485 (protocolo Modbus) para monitoramento remoto
  • Vedação Tripla:Vedação labial + vedação labirinto + purga de nitrogênio para vácuo garantido sem óleo

Especificações Técnicas

ModeloGRM201
Velocidade de bombeamento200 m³/h
Pressão final (sem purga)≤0,5Pa
Potência do motor1,9 kW
Tensão380V (trifásico)
Conexão de entradaISO63
Conexão de saídaKF25
Nível de ruído≤63dB(A)
Peso150kg
Dimensões (C*L*A)741*344*466mm
Pressão da água de resfriamento0,1–0,6 MPa
Fluxo de água de resfriamento≥3 L/min
Pressão de purga N₂0,2–0,6 MPa
Fluxo de purga de N₂12–50 L/min
Temperatura operacional5–40°C; ≤90% UR

Aplicativos

  • Processos limpos/médios de semicondutores: ALD, PECVD, MOCVD, SACVD, RTP, HDP-CVD
  • Fotovoltaico: Fornos de crescimento de cristais, fabricação de células solares
  • Bateria de lítio: secagem a vácuo de células, enchimento de eletrólito, desgaseificação
  • Laboratórios de P&D: Sistemas de vácuo para pesquisa universitária e industrial