Bomba de vácuo seca refrigerada a água 200 m3/h,≤ 0,5 Pa,1.9kw, GRM201

Especificações

• Baixo consumo de energia,
• Alta velocidade de bombeamento,
• Forte capacidade de remoção de poeira,
• A capacidade de transportar gases de processo facilmente condensáveis.

A velocidade de bombeamento estável torna-a adequada para processos com grandes volumes de exaustão, oferecendo alta confiabilidade e baixos custos de operação e manutenção. É adequada para processos limpos, moderados e exigentes, como PECVD, MOCVD e SiC-CVD em indústrias como fotovoltaica e semicondutores.
 

Características do Produto

• Utiliza um motor síncrono de ímã permanente para menor consumo de energia.
• A estrutura avançada do rotor aumenta a capacidade de remoção de poeira da bomba.
• Insensível à poeira e ao vapor de água no gás bombeado;
• Estrutura compacta, tamanho geral pequeno e alta eficiência do sistema;
• Funções de proteção abrangentes e forte auto-adaptabilidade;
• Baixa vibração e ruído durante a operação; um sistema avançado de vedação labial e vedação labiríntica, combinado com purga de nitrogênio, garante efetivamente uma câmara de bomba livre de óleo, melhorando a limpeza a vácuo da câmara de processo.
• Funções de controle remoto e monitoramento são possíveis através da interface I/O e interface RS-485 (protocolo Moudbus).

PARÂMETRO TÉCNICO

Curva de bombeamento

Desenho 

Aplicações:

É adequada para processos limpos, moderados e exigentes, como PECVD, MOCVD e SiC-CVD em indústrias como fotovoltaica e semicondutores.